还原炉的启动方法有几种？

还原炉的启动方法有几种？

当前，很多还原炉里的硅芯都是用多晶硅制造的。多晶硅是一种半导体，在常温下的电阻相当大，即在常温下多晶硅是不导电的，所以要想让还原炉里的硅芯通电，也就是让还原炉启动，就必须采取特殊的启动方法才可实现。 

还原炉的启动方法有多种，但主要有如下三类（图1）。 

图1　还原炉的启动方法 

（1）热启动　热启动是先提高硅芯自身的温度，让硅芯的电阻变小，然后再为硅芯通电。热启动的方法有多种，一种是在还原炉的外壳夹套里通入热水、蒸汽或热油，帮助还原炉内的硅芯升温，使其降低电阻，然后再为硅芯通电；另一种是在还原炉里装入少量的石墨芯或钼芯作为加热器，预先通电，为硅芯升温，等硅芯的温度升高后再为硅芯通电。 

（2）光启动　光启动是在还原炉里装入发光的灯具，用强光照射硅芯，让硅芯电阻变小，然后再为硅芯通电。光启动采用的灯具一般是金属卤化灯。 

有时，热启动与光启动是很难严格区分的。如采用金属卤化灯照射硅芯，在用强光照射的同时，也在用自身的热量为硅芯升温，所以对于硅芯来说，也有热启动的作用。 

（3）高压启动　高压启动是采用高压电击穿硅芯，然后再为硅芯通电。