多晶硅的传统生产方法有几种？

多晶硅的传统生产方法有几种？

多晶硅的传统生产方法有杜邦法、贝尔法、西门子法、培西内法、硅烷法、四碘化法、四溴化硅法、雪尔凡尼亚法、四氯化硅钠还原法、歧化法等多种（表1）。 

表1　多晶硅的传统生产方法 

多晶硅的传统生产方法虽有多种，但都是化学法。 

多晶硅的传统生产方法虽有多种，但目前世界上最常见的有三种：三氯氢硅氢还原法（西门子法）、四氯化硅氢还原法和硅烷裂解法。