三氯氢硅合成的尾气是怎样回收的？

三氯氢硅合成的尾气是怎样回收的？

三氯氢硅合成的基本反应是： 

生产实践表明，在三氯氢硅合成过程中，氯化氢的转化率一般为80％，有20％的氯化氢没有参加反应。 

生产的三氯氢硅气体，在冷媒温度为-40℃的冷凝器中，冷凝效率为85％，约有15％的三氯氢硅气体未冷凝。 

由没有参加反应的氯化氢、未冷凝的三氯氢硅气体和反应副产物氢气等组成的尾气，直接送尾气淋洗塔处理，以三废的形式排放。这不仅降低了原材料的利用率，使产品单耗增高、浪费能源、成本增加，同时，也增加了三废的排放量，大量氯化物难以处理，使得三废处理的费用增高，给环境带来不良的影响。其实，这些被当成三废排放掉的尾气，实际上是可以回收的。 

先来看看三氯氢硅合成尾气的具体特性。该尾气的压力为0.11～0.12MPa（绝对压力），主要成分见表1。 

表1　尾气的主要成分 

三氯氢硅合成的尾气具体怎样来回收呢？从尾气的主要成分可知，综合回收的关键是将三氯氢硅气体与氯化氢、氢气分离，以便分别回收利用，实现三氯氢硅合成的闭路循环工艺流程。三氯氢硅合成尾气的回收工艺流程如图1所示。 

图1　三氯氢硅合成尾气的回收工艺流程 

从三氯氢硅合成炉排出的尾气，经压缩后，先进水冷却器预冷，再进热交换器，与来自冷凝器的低温气体进行热交换，使温度进一步降低。从热交换器出来的尾气进入冷凝器，经-45℃的冷媒冷却，绝大多数的三氯氢硅被冷凝为液体，而氯化氢和氢气在-45℃的温度下还是气体。由于液气的密度不同，经气液分离器作用，三氯氢硅从尾气中分离出来，进入精馏提纯合格后，送还原车间使用。尾气中的其他部分（氯化氢和氢气）送回合成氯化氢，再次参加合成三氯氢硅，达到了循环使用的目的。 

从图中可以看出，该系统没有废气、废物排出，为闭路循环系统。