四氯化硅加氢是怎么回事？

四氯化硅加氢是怎么回事？

西门子法（三氯氢硅还原法）是当今生产多晶硅的主要方法，该法工艺成熟、稳定，而且比较安全。目前用该法生产的多晶硅约占世界生产总量的78％。但用它生产多晶硅会有大量的四氯化硅产生。每生产1kg多晶硅，要产生10～15kg的四氯化硅。 

四氯化硅是一种有害的化学物质，对环境污染严重，为了克服西门子法的这一先天不足，人们开始对四氯化硅进行研究，还发明了对四氯化硅的转化方法，也就是把四氯化硅转变为三氯氢硅的方法。实现了四氯化硅转化的西门子法被称为改良西门子法。 

四氯化硅转变成三氯氢硅的化学反应方程式如下： 

上述反应，前一个是吸热反应，后一个是放热反应。估计约70％的SiHCl3从前一个反应中得到，30％的SiHCl3从后一个反应中得到。 

四氯化硅转变成三氯氢硅的方法有两种：一种为热氢化法；另一种为催化氢化法，也可称为冷氢化法。因为四氯化硅分子与三氯氢硅比，多了一个氯原子，少了一个氢原子，所以要想把四氯化硅转变成三氯氢硅，就要在四氯化硅分子中增添一个氢原子。因此，四氯化硅加氢法就是四氯化硅转化法，也就是把四氯化硅转变为三氯氢硅的方法。